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薄膜型積體被動元件之整合---總計畫.pdf

量測 以不同銅膜結構與介電層材料製作的電感之性質，包括電感值與品質因子。銅膜的結. 構與特性以四點探針、表面粗度儀、掃瞄式電子顯微鏡與x 光繞射來量測。

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