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使用四点探针法的导电薄膜测厚仪的研制,Journal of ... - X-MOL

开发了一种薄膜厚度计，该厚度计对于在诸如触摸面板和触摸屏之类的平板显示器的制造过程中的薄膜厚度管理是必不可少的。仪表的厚度测量方法基于四点探 ...

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