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矽鉻靶材及濺鍍條件對薄膜電阻特性影響之研究 - 義守大學

2.3.4 薄膜電性的量測. 在薄膜電性量測方面，四點探針儀（Four Point Probe）是目前最常用來量測. 薄膜面電阻的工具[37]。其結構是由四根彈簧支稱所組成的金屬探針，如 ...

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