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半導體製程設備技術 - 第 93 頁 - Google 圖書結果

而離子植入製程這道步驟中以摻雜物接面的深度和濃度最為重要,一般業界較常使用四點探針來量測矽晶圓表面上的片電阻(Sheet Resistance),利用熱波法來量測晶體損傷程度即 ...

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