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第一章四點探針電阻量測

在電子工業中所使用的電子材. 料，從電阻係數、薄膜厚度、到電路寬度都是製程參數的函數如鍍膜真空度、. 溫度、速率等。因此，透過電阻量測往往可以檢測出這些參數在材料與 ...

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