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四點探針原理
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碩士論文矽鉻靶材及濺鍍條件對薄膜電阻特性影響之研究
用四點探針量測薄膜面電阻時,會因為四根探針壓入薄膜表面的深淺而有所 ... 而量測薄膜厚度時所用的儀器為探針式膜厚儀(Surface Profilemeter),其原理是.
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