3-4 薄膜性質分析………………21. 3-4-1 膜厚與成長速率之量測………21. 3-4-2 四點探針電性量測………………22. 3-4-3 光學穿透率量測………………………………22. 3-4-4 結晶結構分析……………………23.
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