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南台科技大學

高沉積速率與鍍膜品質佳等優點，唯填洞能力較差。本研究著眼於利用超音波照 ... 討之最佳化條件在矽晶片上實施電鍍銅，以SEM、XRD、AFM 與四點探針等測量，.

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