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【19】中華民國【12】專利公報（ B）

4. 一種塑膠基板上製作二氧化矽硬化膜之方法，係使用一種源材料為四甲基矽烷有機液. 體，此液體在室溫時之蒸氣壓為100Pa；而另一源材料為氧氣；將此兩種氣體分別經由. 氣體 ...

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