可偵測氣體種類(可選氣體): 氨氣(NH3) 砷化氫(AsH3) 三氯化硼(BCl3) 三氟化硼(BF3) ... 矽乙烷(Si2H6) 氟氣(F2) 鍺烷(GeH4) 六氟丁二烯(C4F6) 氫氣-%爆炸下限LEL(H2) ...
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