單晶 或具有一定結構之均勻多晶材料之擴散或摻雜工藝;其所用裝置[3,5]. C30B 33/00 ... C30B 35/00, 單晶或具有一定結構的均勻多晶材料之生長、製備、或後處理專用的一般 ...
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