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單晶多晶差別
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行政院國家科學委員會專題研究計畫期中進度報告
再以10小時900℃熱退火處理所形成之多晶矽薄膜,其介電常數與單晶矽者最為 ... 被開發出來,例如利用化學氣相沉積多晶 ... 變成多晶矽之差別,後者所製作出來的多晶.
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