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單晶多晶定義
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摩爾定律續命丹ASD/DSA解電路圖形化瓶頸 - 新電子
不過傳統上ALD通常被用來在晶圓片/基板的整個表面形成厚度均勻的沉積薄膜,要調整薄膜的位置或形狀,就得搭配蝕刻步驟,這在奈米尺度下非常容易導致邊緣置 ...
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