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單晶多晶分辨
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单晶圆外延系统推动功率器件产业发展 - 化合物半导体
与多晶圆的批量外延系统相比,我们的单晶圆外延反应器所生长的关键薄膜 ... 仅为0.29%(见图1),而用高分辨率X射线衍射测量得到AlGaN势垒层上27个测量 ...
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