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第一節真空幫浦

氫氣，氦氣及氖氣在正常操作的壓力範圍，其抽氣速率較 ... 惰性氣體如氬，氖，及氦氣等不會被結拖，但會被 ... 轉子下落至下接觸軸承上而不致有金屬摩擦撞擊的危險.

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