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以光譜同調特性進行具成本效益之白光干涉表面輪廓量測系統的 ...

Pavlíček. 在2005 年提出利用光纖導光式白光干涉系統及白光色散的特性來量測微小位移[7]。H. Page 6. 結案書(WLI)070912a.doc. 共18 頁，第 ...

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