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Pb的欠电位沉积，Cu的表面有限氧化还原置换和Ru的 ... - X-MOL

摘要当减小器件的特征尺寸时，铜合金膜可潜在地用作微电子学中的互连材料。这项工作研究了Cu和Cu（Ru）薄膜，这些薄膜是通过连续的Pb欠电位沉积，Cu的表面受限氧化还原 ...

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