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台65快速道路
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国产光刻机往事:难,真的是难…… - 36氪
... 年,中科院下属109厂就与上海光学仪器厂协作,研制成功了我国第一台65型接触式光刻机。 ... 半导体市场的快速发展,推动着光刻机的需求和生长。
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