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《科技》應材推Vistara新平台助解晶片製造挑戰 - 中時新聞網

首批平台已交付給記憶體客戶領導大廠，應用於蝕刻應用， ... 應材指出，Vistara平台既能接受用於原子層沉積和化學氣相沉積等製程的小型反應室，也可 ...

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