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第二十三章半導體製造概論
積暨離子植入,也就是在Wafer 上覆蓋一層薄薄的薄膜,所以又稱之為「薄膜區」。在真空區. 中有一站稱為晶圓允收區,可接受晶片的測試,針對我們所製造的晶片,其過程 ...
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