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產品介紹| 優貝克科技股份有限公司

以本公司傳統設備ENTRON EX-W300系列為基準，針對提高生產效率進行了改良之機型。 最多可搭載8種Process Module (PVD、ALD、CVD、etc.)，再加2種(Degas、Cooling)功能 ...

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