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台積電cvd製程
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低維度奈米材料為先進製程帶來新契機(2) - 新通訊
1D奈米碳管電晶體早期就被深入的研究並展現出優異的性質(彈道傳輸與極佳的靜電調制特性),特別是相較於目前CVD合成的2D半導體材料(MoS2,WSe2,MoSe2等) ...
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