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台積電cvd製程
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國內半導體製造業及光電業之產業現況、 製程廢氣污染來源與 ...
等不同製程單元操作,將半導體產業大致區分為半導體材料 ... 台灣目前投產的8 吋晶圓廠(台積電原Fab3、Fab4 合為 ... 物理氣相沉積(PVD)、化學氣相沉積(CVD)等。
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