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台積電cvd製程
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應材推出新Ioniq系統解決晶片微縮的布線電阻問題 - 聯合報
... 與物理氣相沉積(PVD)和化學氣相沉積(CVD)製程整合在同一套系統。 ... 沉積的低電阻率鎢膜,並結合使用CVD沉積的鎢膜,形成純鎢的金屬接點。
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