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台積電3奈米製程加速,拚明年量產!應用材料 - LINE TODAY
這項整合式材料解決方案,即為在高真空環境下,將7種不同製程至數整合至同一套系統。其中包含ALD (原子層沉積)、PVD (物理氣相沉積)、CVD (化學氣相 ...
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