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台積電cvd製程
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〈分析〉一文看懂半導體設備景氣、種類及主要大廠 - 鉅亨網
以台積電為例,每個節點的投資金額迅速攀升,以16nm 製程來看,1 萬片/ 月 ... 銷售額的30%,蝕刻約占20%,薄膜沈積設備約占25%(PVD 15%、CVD 10%)。
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