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半導體廠房空間之研究 以廠務設施為例 - 中華大學

細，本研究整理如表1-1。 表1-1 台灣半導體廠明細. 廠家. 12 吋晶圓廠. 8 吋晶圓廠. 6 吋晶圓廠. 5 吋晶圓廠. 力晶. 3. 1. 瑞晶. 4. 台積電.

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