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台積電cmp製程
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https://books.google.com.tw/books?id=YzEhEAAAQBAJ&pg=PA10&lpg=PA10&dq=%E5%8F%B0%E7%A9%8D%E9%9B%BBcmp%E8%A3%BD%E7%A8%8B&source=bl&ots=_66tCzzU67&sig=ACfU3U23OAsDa4xinh7kkhFzXwZ95qyN6Q&hl=zh-TW&sa=X&ved=2ahUKEwjSybKF6rD4AhWxlNgFHetQAtUQ6AF6BQjDAhAD
台灣光華雜誌2021年3月號中英文版: 隱形冠軍‧卓越企業
當時半導體業的晶圓因應化學機械研磨(CMP)製程,需要鑽石修整器, ... 製造晶圓CMP製程用的鑽石碟,由於品質穩定,2002年台積電還給予中砂免檢驗入庫的廠商認證。
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