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台積電cmp製程
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台積電為何這麼強: 半導體的計算光刻及佈局優化| 誠品線上
第6 章介紹可製造性設計,聚焦於與佈局相關的製造製程,即如何使佈局設計得更適合光刻、化學機械研磨(chemical mechanical polishing,CMP)等製程。
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