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砷化鎵高速元件積體電路之金屬鑲嵌銅製程 - 國立交通大學機構 ...

表2.2 CMP 的製程參數(Process parameters) ... 此外，Micron、Motorola、台積電、聯電與國內DRAM 各大廠，均將化學機械. 研磨製程列入半導體製程關鍵程序之一。

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