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7奈米製程大亂鬥，台積電與三星技術訴求各不同 - T客邦

台積電 、三星7奈米策略不同. 台積電的7奈米「走穩紮穩打」路線，量產初期使用深紫外光刻（DUV）曝光，利用沉浸式曝光 ...

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