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提升台積電3nm良率日廠研發新型光阻劑 - 非凡新聞

提升台積電3nm良率日廠研發新型光阻劑. ... 分析師表示，5奈米到3奈米製程，在良率的提升上，難度比過去高出許多，有了新型光阻劑的協助，就能在晶圓 ...

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