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夢幻技術「嚇死人」 台積電新廠用電超越整個東台灣 - 天下雜誌

然而，半導體除了最核心的微影，還有蝕刻、蒸鍍、平面化等多道製程。導入高耗電的EUV光源，這道製程對於整廠的用電影響有多大？ 這次南科新廠的環差 ...

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