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「半導體製程與技術的傳言」之專家意見 - 新興科技媒體中心

半導體製程的定義，常聽到的是「多少奈米」的製程，比如近日媒體常報導的 ... 掌握極紫外光（EUV）的先進光刻機亦成為晶圓代工產業的最重要生產利器。

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