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定錨產業筆記

3) 台積電即將在2022年底量產N3製程，2023年推出改良版N3E製程，預計2025年以 ... 蝕刻製程： 根據微影製程所繪製的電路圖，用六氟丁二烯(C4F6)、四氟化矽(SiF4).

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