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台積電晶圓by 庭泓謝 - Prezi

矽和金屬蝕刻是使用含氯成分的化學物質。 ... 多晶矽蝕刻. 金屬蝕刻能移除鋁、鎢或銅層，並顯露元件結構中逐層墊高的電路圖形。 ... 反應離子蝕刻. 目標是要最 ...

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