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台積電為何這麼強: 半導體的計算光刻及佈局優化| 誠品線上

蝕刻 負責把光刻膠上的圖形轉移到基體上，在較大的技術節點中，這種轉移的偏差是可以忽略不計的；在較小的技術節點中，這種偏差必須考慮，而且新型介電材料和硬光罩（hard ...

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