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极紫外光刻Extreme Ultraviolet Lithography: 最新的百科全书

在IEDM 2020 上，台积电报告称，5 nm 节点的最小金属间距将从7 nm 节点的40 nm 减少30%（~28 nm）。 ... 这种多层薄膜的功能是通过布拉格衍射反射极紫外辐射。

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