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綠色製造重要里程碑！台積電有害化學品減量95％ - 自由財經

針對工業普遍使用的化學品NMP，台積電表示，主要將其做為製程中去光阻後清洗晶圓的溶劑，為降低人員暴露與環境汙染風險，公司超越法規要求，於2016年自主 ...

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