製程, 用電(MW), 用水(CMD,立方公尺/每日). 南 科, 新增, 5奈米廠, 700, 5萬. 3奈米廠, 880, 7.5萬. 竹 科, 新增, 奈米研發及先期量產, 340, 2.5萬.
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