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台積電南科再生水廠通水為再生水用於半導體製程創舉 - 聯合報

莊子壽說，要將工業廢水處理到比自來水還要純化，用於對水質極為敏感的半導體製程，事實這套回收系統，台積電已經8年孕育，從最早期在晶圓廠內設立每 ...

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