秦永沛指出,去年台積電裝設的EUV 機台設備,約占全球EUV 技術產能的一半,占全球累計晶圓數量的65%,且今年台積電的EUV 光罩護膜產能將是2019 年的20 倍,以滿足大量量產 ...
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