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推進摩爾定律極限！ - 同步光源在先進半導體技術應用

EUV微影是未來邁向1奈米元件的主流製程技術，但高亮度的EUV光源取得不易，直接影響該技術的發展。NSRRC不但提供加速器EUV光源，協助廠商進行EUV光阻、光罩與光源開發； ...

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