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林本堅以浸潤式微影技術開創產業未來

因為在浸潤式微影（Immersion Lithography）技術上的成就，台積電奈米影像技術研究 ... 他提出與其在技術極限的157奈米波長繼續鑽下去，倒不如回頭善用193奈米波長的 ...

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