秦永沛表示,5 奈米製程D0 值(平均缺陷密度)比7 奈米同期的表現還好,已低於0.1,廣泛採用EUV 是其中一項重要因素,而4 奈米初期D0 值表現也相當不錯,預期2022 年會跟5 ...
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