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台積電揭2 奈米最新進度:將著重改善EUV 技術品質 - 報橘
相較於前一年度年報中指出,極紫外光技術正逐步邁向全面生產製造就緒。台積電在此次年報中透露,極紫外光光阻製程、光罩保護膜及相關的光罩基板,都展現 ...
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