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利用ISCST3模式解析半導體封裝製程VOCs與異味污染物排放對 ...

VOC 之標準，其中總氟則包括氟化氫氣體及粒狀物中的氟含量，至於氯化氫及 ... 污染物排入大氣中，造成現今空氣污染問題日益惡化，台灣在過去的二十年間之.

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