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空氣汙染防制

依據台灣「半導體製造業空氣汙染管制及排. 放標準」及「固定汙染源空氣汙染物排放標. 準」，半導體製造業產生的空氣汙染主要為 ... （VOC>100ppm）. 沸石轉輪.

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