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爐管與快速熱退火製程對磷化鋁鎵銦發光二極體背金結構的影響

428-431 (2002) [6] 施敏原著，張俊彥譯，“半導體物理元件與製程技術”第三版，高立圖書有限公司，台北市，台灣， p. 192 (2000) [7] H. Morkoc,“Nitride ...

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