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材料科學與工程學系 - 國立交通大學機構典藏

1.3.1 快速熱退火（RTA）的原理. Page 26. 12. 本實驗退火技術是以快速熱退火為主，跟一般成長複晶矽的爐管退. 火方式或是雷射退火方式有所差異，所以特別在此多加介紹。

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